Táirgeacht

Semi - Meaisín snasaithe meicniúla ceimiceacha uathoibríocha

Seachadann an córas solúbtha CMP seo ard - beachtas, ard - éifeachtúlacht singil - Snasú taobhán le haghaidh dromchlaí comhthreomhara planar thar gach ábhar comhoiriúnach.

Glaoigh Linn

Gnéithe

Iarrchán

Feidhmíonn an Meaisín Snaraithe Meicniúil Ceimiceach Uathoibríoch {- CMP taosctha ar sliseoga fo-200mm agus ábhair chrua chrua, lena n-áirítear:

Próisis leathsheoltóra: Si CMP, Ocsaíd CMP (BPSG, TEOS, Thox), Miotal CMP (W, Cu), Films Dielectric, agus Feidhmchláir STI

Ábhair Speisialtachta: Silicon Carbide (SIC), sliseoga sapphire, sliseoga gearmáiniam, niobate litiam, agus foshraitheanna gloine

Seachadann an córas solúbtha CMP seo ard - beachtas, ard - éifeachtúlacht singil - Snasú taobhán le haghaidh dromchlaí comhthreomhara planar thar gach ábhar comhoiriúnach.

Semi - Meaisín snasaithe meicniúla ceimiceacha uathoibríocha

SAP200-S

Uimhir shamhail		SAP200-S
diosca snasaithe	Lárlíne	Φ510mm (20 '')
	Uimhir a chur ar	1
	Luas diosca níos ísle	0-200rpm
ceann snasta	Próiseála Workpieces	4 ''/6 ''/8inch
	Modh brúite	Feidhm brú brú solúbtha mála aeir (brú 3-chrios)
	luas	0-200rpm
	Uimhir a chur ar	1
Innéacs beachta	Na léimní íochtaracha	Níos lú ná nó cothrom le 0.01mm
Innéacs beachta	Cothromaíocht an phláta íochtair	Níos lú ná nó cothrom le 0.008mm
Méid an trealaimh (l * w * h)		2150mm1100mm2150mm
Meáchan gléas		2000kg

Clibeanna Te: Semi - Meaisín snasaithe meicniúla ceimiceacha uathoibríocha, an tSín leath - Déantóirí Meaisín Snasaithe Meicniúla Ceimiceacha Uathoibríoch, Soláthraithe, Monarcha

'Nar par ya:

Gan Fhaisnéis

Next2:

Meaisín snasaithe taobh {-

B’fhéidir gur mhaith leat freisin

Glaoigh Linn